氦質(zhi)(zhi)譜檢(jian)(jian)漏儀(yi)用氦氣(qi)作示(shi)漏氣(qi)體，以氣(qi)體分(fen)析儀(yi)檢(jian)(jian)測氦氣(qi)而進(jin)行檢(jian)(jian)漏的(de)質(zhi)(zhi)譜儀(yi)。是一種應用于國內外的(de)真空(kong)容器檢(jian)(jian)漏先進(jin)技術(shu)。與一般(ban)的(de)檢(jian)(jian)漏技術(shu)相比，氦質(zhi)(zhi)譜檢(jian)(jian)漏技術(shu)快速、準確、靈敏度高及(ji)無損傷性等優點。氦質(zhi)(zhi)譜檢(jian)(jian)漏
儀的示(shi)蹤氣(qi)(qi)體也可以(yi)是其他元素。但通常選用氦(hai)氣(qi)(qi)，因(yin)為(wei)氦(hai)氣(qi)(qi)具有(you)以(yi)下特性：
1、氦(hai)氣在(zai)空氣中的含量極少，只(zhi)占約二(er)十萬分之一，易(yi)于發(fa)現；
2、氦(hai)分子小、質量輕(qing)、易(yi)擴(kuo)散、比其(qi)它氣體(ti)易(yi)穿越漏孔；
3、氦離子(zi)荷(he)質比小，易于進行質譜分(fen)析；
4、氦氣是無毒、無味，對大氣無污染。
5、氦氣是惰(duo)性(xing)氣體，化(hua)學性(xing)質穩定，不(bu)會(hui)腐蝕(shi)和損(sun)傷設(she)備；
6、氦氣無毒，不凝結，極難容于水。
正(zheng)因為氦(hai)氣具有以(yi)上(shang)特性，所以(yi)氦(hai)氣檢漏應(ying)用已(yi)從(cong)科研院所到(dao)工業企(qi)業乃(nai)至(zhi)到(dao)個體企(qi)業，可以(yi)說應(ying)用領域極其寬廣